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KLA探針式臺(tái)階儀P-7

型 號(hào)

所屬分類風(fēng)速儀

報(bào)價(jià)

更新時(shí)間2024-11-20

產(chǎn)品描述:KLA探針式臺(tái)階儀P-7:P-7支持從幾納米到一毫米的臺(tái)階高度測(cè)量,適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量,其掃描可達(dá)150mm而無需圖像拼接。

產(chǎn)品概述

品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域化工,綜合

KLA探針式臺(tái)階儀P-7產(chǎn)品描述

P-7支持從幾納米到一毫米的臺(tái)階高度測(cè)量,適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量,其掃描可達(dá)150mm而無需圖像拼接。


P-7建立在P-17臺(tái)式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎(chǔ)之上。 它保持了P-17技術(shù)的測(cè)量性能,并作為臺(tái)式探針輪廓儀平臺(tái)提供了很好的性價(jià)比。 P-7可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量,其掃描可達(dá)150mm而無需圖像拼接。



KLA探針式臺(tái)階儀P-7



KLA探針式臺(tái)階儀P-7KLA探針式臺(tái)階儀P-7


KLA探針式臺(tái)階儀P-7主要功能

  •       臺(tái)階高度:幾納米至1000μm

  •       微力恒力控制:0.03至50mg

  •       樣品全直徑掃描,無需圖像拼接

  •       視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī)

  •       圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

  •       軟件:簡(jiǎn)單易用的軟件界面

  •       生產(chǎn)能力:通過測(cè)序,模式識(shí)別和SECS / GEM實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化


主要應(yīng)用

  •       臺(tái)階高度:2D和3D臺(tái)階高度

  •       紋理:2D和3D粗糙度和波紋度

  •       形狀:2D和3D翹曲和形狀

  •       應(yīng)力:2D和3D薄膜應(yīng)力

  •       缺陷復(fù)檢:2D和3D缺陷表面形貌


工業(yè)應(yīng)用

  •       大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所

  •       半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體

  •       LED:發(fā)光二極管

  •       太陽(yáng)能

  •       MEMS:微機(jī)電系統(tǒng)

  •       數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

  •       汽車

  •       醫(yī)療設(shè)備


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