全自動(dòng)化&高集成度&可視化光斑

操作簡(jiǎn)單，測(cè)試快速，為一般操作工人設(shè)計(jì)

一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀 Auto SE——新型的全自動(dòng)薄膜測(cè)量分析工具。

采用工業(yè)化設(shè)計(jì)，操作簡(jiǎn)單，可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動(dòng)測(cè)量和分析，并輸出分析報(bào)告。是用于薄膜測(cè)量和器件質(zhì)量控制的解決方案。

主要特點(diǎn)：

• 液晶調(diào)制技術(shù)，無(wú)機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)部件，重復(fù)性，信噪比高

• 技術(shù)成像系技術(shù)，所有樣品均可成像，對(duì)于透明樣品,自動(dòng)去除樣品的背反射信號(hào),使得數(shù)據(jù)分析更簡(jiǎn)單.

• 反射式微光斑，覆蓋全譜段，利于非均勻樣品圖案化樣品測(cè)試

• 全自動(dòng)集成度高，安裝維護(hù)簡(jiǎn)便

• 一鍵式操作軟件，快速簡(jiǎn)單

• 自動(dòng)MAPPING掃描，分析樣品鍍膜均勻性

一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀技術(shù)參數(shù)：

• 光譜范圍：450-1000 nm

• 多種微光斑自動(dòng)選擇

• 光斑可視技術(shù)，可觀測(cè)任何樣品表面

• 自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自動(dòng)調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm

• 70度角入射

• CCD探測(cè)器

高集成度全自動(dòng)式設(shè)計(jì)，操作簡(jiǎn)便，安裝快速，自動(dòng)校驗(yàn)故障

• 液晶相調(diào)制

• 16個(gè)穆勒矩陣參數(shù)

• 1秒內(nèi)完成全譜測(cè)量

• MyAuto View可視光斑技術(shù)

• 微光斑，四種可選

• 一鍵式操作，一鍵出報(bào)告